中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司(以下简称“公司”)创建于1958年,公司总部位于辽宁省沈阳市浑南区。多年来,公司专注于洁净真空、超高真空技术的研究和发展,拥有真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心等国家级研发平台,是我国真空技术及真空类科学仪器攻坚的主力军。公司主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售,及相关技术服务。公司产品主要包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛…
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